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对 GaN 而言,n型掺杂比较容易实现,但 p 型掺杂却十分困难。在 GaN 中经常使用的 p 型掺杂剂是 Zn 或者 Mg,但是掺入这些杂质后,GaN 往往仍体现高阻特性,这意味着 p 型掺杂剂并没有被激活,没有起作用。

这个问题曾困惑了科学界很久,最后也是被天野浩解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得p-GaN。

这个方法的发现,天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试,直到89年,才突然碰运气得到。

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在这个步骤上,中村大侠的“二”病再此发作!

他再次推翻了前面科学家的研究成果,改为加热!

这也就是所谓退火工艺的由来。

根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,才得到的这个意外结果。

在重复电子束照射实验前,他不小心把工作台给加热了!

于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。对此现象,他又继续研究,进而确认,仅仅依靠加热就可以获得p-GaN。

退火工艺的原理,中村大侠并没有给出合理解释。

但从此,热退火就成为了制作蓝光LED的标准工艺,沿用至今。

当然了,事情是否真偶然,谁也不知道。

讲故事谁不会?

...

退火工艺的背后原理,在很久以后才被人揭示。

p-GaN 中的 Mg 会被MOCVD 外延过程中引入的 H 钝化,形成 Mg-H络合物。无论是低能电子辐照还是热退火,都是通过借助外部能量破坏 Mg-H 键而激活 Mg 杂质。

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这两个工艺步骤的实现,足以说明中村的逆天运气!

前人耗时五六年的成果,他在很短的时间内,全部推翻,而且找到了更好的方式!

而他发现的这些工艺步骤,即使在三十年后,也无人能改!

有没有这么一种可能:

这些工艺,之所以无人能改,因为它们实际就是三十年后的成熟工艺!

但被中村提前拿到了1990年!


 
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